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用什么來進(jìn)行半導(dǎo)體工業(yè)燒結(jié)用石墨模具材料?

作者:jcadmin 發(fā)布時(shí)間:2021-03-12 06:14:51
    先來解說什么是燒結(jié)用石墨模具
1.燒結(jié)用石墨模具

    因?yàn)楦呒兪哂心透邷?、純度高、高溫下尺度穩(wěn)定、耐熱沖擊性能好等特點(diǎn),所以在半導(dǎo)體工業(yè)中廣泛選用高純石墨制作各種燒結(jié)模具。

(1)電子器材燒結(jié)用石墨模具。石墨燒結(jié)模適用于各種類型的二極管、三極管、可控硅管等器材的管心燒結(jié),圖為部分燒結(jié)模具實(shí)例。選用高頻爐區(qū)熔法拉制單晶時(shí),還選用石墨舟(見圖2-4)。

(2)各種絕緣子燒結(jié)模具。石墨模適用于各種類型的三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結(jié),電容器絕緣子燒結(jié),厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結(jié),超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結(jié)模具等,圖2-5為部分可控硅管和各種絕緣子燒結(jié)模具。

2.半導(dǎo)體工業(yè)用石墨模具資料的選擇

    半導(dǎo)體工業(yè)對所用石墨資料要求其純度越高越好,特別是直接與半導(dǎo)體資料觸摸的石墨器材

    如坩塌、燒結(jié)用石墨模具等,雜質(zhì)含量多會污染半導(dǎo)體資料,因而不但對所用石墨原資料的純度要嚴(yán)加控制,而且還要經(jīng)高溫石墨化處理,使其灰分降到最低程度。

    半導(dǎo)體工業(yè)要求所用石墨資料顆粒度要細(xì),顆粒度細(xì)的石墨不但容易到達(dá)加工精度而且高溫強(qiáng)度高、損耗小,特別是燒結(jié)用石墨模具要求加工精度很高。因?yàn)榘雽?dǎo)體工業(yè)所用的石墨器材(包含加熱器和燒結(jié)模)都需求接受反復(fù)加熱和冷卻進(jìn)程,為了進(jìn)步石墨器材的運(yùn)用壽命,要求所用石墨資料在高溫下具有良好的尺度穩(wěn)定性和耐熱沖擊性能。為了滿意上述各項(xiàng)要求,目前我國出產(chǎn)了一系列適用于半導(dǎo)體工業(yè)所運(yùn)用的石墨資料,其部分牌號和性能列于表
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